簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "電壓".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="吸附電壓、機械性質、楊氏模數、殘留應力"


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    承受靜電力之微曲樑的吸附電壓解析解及其應用於反算薄膜之楊氏模數與應力梯度
    • 機械工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 郭雨甡 指導教授: 黃世欽
    • 摘要 因微結構與靜電場之耦合(coupling)效應、靜電力的非線性、雜散電場(fringing field)效應、及應力梯度(stress gradient)所產生之預變形(pre-deforma…
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